工業微波設備的主要構成部分有：微波發生源，俗稱磁控管，它可以將電能轉化為微波能；微波腔體，就是工業微波設備的內部空間，物料在微波腔體內被加熱干燥或者是滅菌；輸送物料機構，指的是軌道或傳送帶等輸送機構；抑制部分，比如微波爐門、抑制器和其它抑制機構，防止并控制微波泄露達到國標要求等。